真空鍍膜設(shè)備是由許多精密的零部件所組成的，這些零部件均經(jīng)過許多機械加工流程而制作出來，如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因為有了這些工作，導致設(shè)備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā)，從而對設(shè)備的極限真空造成影響。

此外，這些機械加工帶來的真空污染物在大氣壓環(huán)境中吸附大量的氣體，而到了真空狀態(tài)下，這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來，成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一大主要因素。為此，在真空鍍膜機零件組裝之前，必須先將污染物清理掉。

在使用真空設(shè)備過程中，其零部件還會受污染。不過這種來源的污染主要是使用條件、真空泵兩方面造成的。

1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā)，將導致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜，對其絕緣強度有一定的損壞，對其測量的準確性也有一定的影響；

2、由于高溫蒸發(fā)，會使真空中的電子槍的燈絲附近表面形成一層金屬膜；

3、由于工件濺射，離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被濺散物所污染；

4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會被其蒸鍍靶材材料污染；

5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng)，該系統(tǒng)會受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染；

6、真空鍍膜設(shè)備中的擴散泵油、機械泵油等更是一大主要污染來源，鍍膜機長期工作后，設(shè)備內(nèi)部可能會形成一層油膜。


綜上所述，設(shè)備的真空衛(wèi)生涉及到真空設(shè)備、真空系統(tǒng)、真空工藝生產(chǎn)等各方面與環(huán)節(jié)，涉及到了真空鍍膜設(shè)備本身和特殊真空工藝對使用條件的要求，因此，真空污染是一個值得被重視的問題，因為這些污染會影響設(shè)備性能，應注意定期或隨時進行清潔工作。
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