靶材膜層顏色可調(diào)的PVD鍍膜方法

1、鍍金屬膜層，將待鍍產(chǎn)品傳入裝有金屬靶材的鍍膜腔室，開(kāi)啟泵抽真空及加熱裝置進(jìn)行基底加熱，使得本底真空達(dá)到1×10-Pa 及達(dá)到80-150℃工藝溫度后，向腔室通入10-1000sccm的氬氣，啟動(dòng)濺射電源，設(shè)置濺射功率1-15KW，鍍膜時(shí)間10-300S，得到厚度為1-100nm的金屬膜層，金屬膜層為銅(Cu)、銀(Ag)、鋁(Al)、鉻(Cr)等金屬膜層，或鎳銅(NiCu)、鎳鉻(NiCr)等合金膜層；
2、鍍低折射率膜層，將鍍完金屬膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成低折射率膜層的靶材鍍膜腔室，加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度，向腔室通入工藝氣體，設(shè)置濺射功率1-15KW，鍍膜時(shí)間1-300S，得到厚度為1-100nm的低折射率膜層，此低折射率膜層為氧化硅、氮化硅等膜層；
3、鍍高折射率膜層，將鍍完低折射率膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成高折射率膜層的靶材鍍膜腔室，加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度，向腔室通入工藝氣體，設(shè)置濺射功率1-15KW，鍍膜時(shí)間1-300S，得到厚度為1-100nm的高折射率膜層，所述高折射率膜層為氧化鈦、氮化鈦、氧化鋯、氮化鋯、氧化鈮、氮化鈮、氧化鋅、氧化銦、氧化鋁、氧化鐵、氧化鉻、氮化鉻等膜層，此高低折射膜層的工藝氣體為Ar、N2、O2中的至少一種，其中Ar氣體流量為10-1000sccm，N2氣體流量為10-1000sccm，O2氣體流量為10-1000sccm；

4、重復(fù)步驟二和步驟三數(shù)次，得到不同顏色的膜層，重復(fù)步驟二和步驟三的次數(shù)為1-100次。

以下是PVD真空鍍膜裝飾薄膜常用材料及其常用氣體制作的各類(lèi)裝飾顏色涂層:

鋯靶＋氮?dú)猓狐S綠調(diào)金黃色
鋯靶＋甲烷：深淺黑色
鋯靶＋氧氣：白色、透明膜
鋯靶＋氮?dú)猓淄椋航鹕?、仿玫瑰?/span>

鉻靶＋甲烷：深淺黑色
   鉻靶＋氮?dú)猓簻\黑色
   鉻靶＋氮?dú)猓淄椋恒y灰色
   鉻靶＋氧氣：輕黃色、紫色、綠色
   鉻靶＋氧氣：銀色

不銹鋼靶＋氧氣：紫色
不銹鋼靶＋氮?dú)猓核{(lán)色
不銹鋼靶＋甲烷：亮黑色
不銹鋼靶＋甲烷＋氮?dú)猓核{(lán)黑色

硅靶＋氮?dú)猓汉谏?br style="margin:0px;padding:0px;max-width:100%;font-family:"letter-spacing:1.5px;text-align:justify;white-space:normal;box-sizing:border-box !important;overflow-wrap:break-word !important;" /> 硅靶＋氧氣：混濁白、透明膜
硅靶＋甲烷：黃色、綠色、藍(lán)色、黑色(靶材純度高于99%能調(diào)黑色)
鈦靶＋氧氣：光學(xué)膜七彩截色，不多介紹都懂。
鈦靶＋甲烷：深淺黑色( DLC制備不能達(dá)標(biāo))
鈦靶＋氮?dú)猓悍陆鹕?、黃銅色、紫色、紅色
鈦靶＋氮?dú)猓淄椋悍旅倒褰稹⒑诰G色、復(fù)古黃、棕色、紫色

鎢靶＋氮?dú)猓鹤攸S色

鎢靶＋甲烷：深淺黑色
鎢靶＋氧氣：紫色，鮮黃色，棕色，藍(lán)色

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