如何降低薄膜表面應(yīng)力

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如何降低薄膜表面應(yīng)力？

答：

在真空鍍膜機(jī)鍍制膜層后，薄膜表面會(huì)存在一種有叫表面應(yīng)力的力，這種力在很多物質(zhì)上都存在，所以薄膜也不例外，但由于薄膜的厚度非常薄膜，所以能夠承受的表面應(yīng)力是極度小的。其實(shí)薄膜的表面應(yīng)力就是對其拉伸或彎曲時(shí)因改變薄膜表面的面積從而產(chǎn)生的能量，而這種能量超過了薄膜能承受的范圍，就會(huì)引起膜層裂開。另以為對于不易變形的工件上的薄膜不易拉伸彎曲，但不表示沒有，其表面鍍制的是一層很薄的膜層，所能承受的可想而知。所以降低薄膜的表面應(yīng)力是防止膜層裂開的一種有效的方法之一?？偟膩碚f可以從三個(gè)方面進(jìn)行調(diào)整，首先是降低蒸發(fā)的速率，對于那些通過真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)鍍制的薄膜，可以把蒸發(fā)的速率適當(dāng)?shù)慕档?，使靶材成膜沒那快，提高膜層的質(zhì)量，雖說慢工出細(xì)貨，但也不能降低，因?yàn)樵谧非筚|(zhì)量的同時(shí)，產(chǎn)量也是要注意的。第二個(gè)是延長除氣的時(shí)間，因?yàn)楣ぜ锎嬗心承怏w或水分，除氣的目的就是把這些在鍍膜前排出，以免降低了真空鍍膜機(jī)內(nèi)的真空度，真空度不夠高也是會(huì)影響膜層的質(zhì)量的。第三個(gè)是降低烘烤的溫度，雖說烘烤溫度高，可以加速除氣，但過高的溫度也會(huì)影響到工件本身的性能，改變了工件自身的性質(zhì)，在表面應(yīng)力也就更難以控制了。通過以上三個(gè)不同的方法，都可以有效的降低薄膜的表面應(yīng)力，能較大降低膜層裂開的危險(xiǎn)。

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