分子泵故障：

  1、分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？



  原因：附近有光照或其他熱源



  解決方法：避免光照或熱源



  2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請(qǐng)問油為什么發(fā)黑？或者多長(zhǎng)時(shí)間油才會(huì)變黑？



  原因：冷卻不良，負(fù)載太大



  解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)



  3、分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？



  原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠



  解決方法：檢查系統(tǒng)



  4、分子泵軸承為什么會(huì)燒毀



  原因：①缺乏定期維護(hù)②冷卻不良導(dǎo)致過熱③沒有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵



  解決方法：①及時(shí)維護(hù)②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵



  5、有防護(hù)網(wǎng)保護(hù)，為什么還會(huì)有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？



  原因：防護(hù)網(wǎng)破裂，前級(jí)管道破裂



  解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)



  6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？



  原因：油池破裂或密封不良



  解決方法：檢查油池



  7、正常使用下，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形



  原因：過熱，負(fù)載大



  解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)



  8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請(qǐng)問是否對(duì)分子泵的使用有影響？應(yīng)如何解決？



  原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒有影響。



  解決方式：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒有影響。



  9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？



  答：不作特殊限定，至少3個(gè)，按照法蘭大小可選3、6、12、24等



  10、變頻器電源在什么情況下會(huì)造成程序丟失或者錯(cuò)亂？



  答：①電壓不穩(wěn)②強(qiáng)干擾③高壓打火④認(rèn)為



  11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標(biāo)準(zhǔn)，是多少？



  答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要特定儀器和特定的測(cè)試環(huán)境



  12、分子泵是否對(duì)冷卻有明確要求？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對(duì)水有何具體要求？如未達(dá)到要求會(huì)出現(xiàn)何后果？



  答：注意水溫和水流量，冷卻不良會(huì)導(dǎo)致無故停機(jī)、碎泵、油變黑等。



  13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應(yīng)如何做才是較好方式？



  答：電源本身有接地線，只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對(duì)強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)輻射的屏蔽。



  14、變頻器電源，轉(zhuǎn)速上升過程中就自動(dòng)關(guān)機(jī)，即顯示“Poff”？



  答：原因：電壓低



  15、分子泵葉片破碎的原因：



  答：造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點(diǎn)：



  ①、誤操作;比如突然的破真空，因?yàn)檗D(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會(huì)造成葉片變形，這樣可能會(huì)造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦，導(dǎo)致打碎。



  ②、是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會(huì)造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì)盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。



  ③、電壓的不穩(wěn)定，特別對(duì)磁浮類的分子泵損傷較大。



  ④、前級(jí)泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級(jí)泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會(huì)啟動(dòng)。如果前級(jí)泵的效率差，分子泵就會(huì)比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(zhǎng)，電流高，分子泵溫度升高等。



  ⑤、、分子泵保養(yǎng)時(shí)的動(dòng)平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動(dòng)平衡差，振動(dòng)就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。



  ⑥、軸承部分沒有使用原廠的標(biāo)準(zhǔn)軸承，效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)等。

  分子泵使用過程出現(xiàn)的問題
總體安裝注意事項(xiàng)



  ①、安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否被損壞。



  ②、打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動(dòng)渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無異常現(xiàn)象。



  ③、安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。



  ④、確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝，特殊情況下定做特殊防護(hù)網(wǎng)。



  ⑤、確認(rèn)已裝入潤(rùn)滑油。



  ⑥、安裝方向：油繩潤(rùn)滑：豎直、水平；



   油潤(rùn)滑：豎直方向±5°范圍內(nèi)；



   脂潤(rùn)滑：任意角度

2油池安裝注意事項(xiàng)
  ①、拆下注油



  ②、油量控制



  ③、油池衛(wèi)生，防顆粒



  ④、對(duì)好、對(duì)稱上緊螺釘，防止有漏

3進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝





  ①、泵入口：對(duì)正、對(duì)稱擰緊



  ②、泵出口：防止錯(cuò)位



  ③、冷卻水：無漏水；入口水壓0.2MPa；水溫20±５℃；水質(zhì)澄清無沉淀



  注意：

環(huán)境溫度：風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃



  入口壓強(qiáng)：強(qiáng)制風(fēng)冷<0.1Pa;自然風(fēng)冷<0.01Pa

4三、電纜安裝注意事項(xiàng)





  ①、對(duì)正槽口插入



  ②、用螺母擰緊，邊插邊擰



  ③、檢查到位

5振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)



  1分子泵振動(dòng)極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。



  對(duì)于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器，以便盡可能的減少振動(dòng)。



  2沖擊防護(hù)：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐



  機(jī)械振動(dòng)（預(yù)抽泵、前級(jí)泵、機(jī)械動(dòng)作等）

  氣體振動(dòng)（氣量突變、壓強(qiáng)突變）

  意外振動(dòng)（掉入異物、碰撞等）



  注意：沒有對(duì)泵進(jìn)行必要防護(hù)，容易造成分子泵嚴(yán)重的破壞、甚至碎泵。

6大氣載、熱氣體、突變氣載



  a 引起問題：溫度升高；動(dòng)靜片變形；轉(zhuǎn)子上移；潤(rùn)滑失效5℃原則；軸承失效



  b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時(shí)間

7磁場(chǎng)屏蔽出現(xiàn)的問題



  旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問題：



  ①、轉(zhuǎn)子與定子間隙越來越小，造成碎片；



  ②、轉(zhuǎn)子溫升過大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；



  ③、由于發(fā)熱會(huì)減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；



  ④、轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對(duì)位置，造成碎泵。



  分子泵在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，徑向和軸向磁場(chǎng)強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。

8分子泵啟動(dòng)的條件：


  ①、啟動(dòng)條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤(rùn)滑、真空度



  ②、啟動(dòng)時(shí)間：



  同時(shí)啟動(dòng)——小系統(tǒng)，防前級(jí)泵油上返。



  延遲啟動(dòng)——系統(tǒng)容積過大,先啟動(dòng)前級(jí)泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時(shí)，啟動(dòng)分子泵。
分子泵故障：

  
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