目前柔性透明導電薄膜沉積技術由于其超薄、可彎折的特性已經(jīng)在觸摸屏行業(yè)普遍推廣，柔性透明導電膜主要是通過卷繞鍍膜設備鍍制，柔性透明導電薄膜基材都是PET等柔性材料?，F(xiàn)在電子產(chǎn)品對輕、薄的要求越來越高，這就增加了卷對卷生產(chǎn)中比較薄的PET（23 μm厚度以下）平整度控制難度，故設計出一種柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線控制的裝置。

真空卷繞磁控濺射技術特點 ：①沉積速度快、基材溫升低、對膜層的損傷??；②濺射所獲得的薄膜與基片結合較好；③濺射所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；④濺射工藝可重復性好，可以在大面積基片上獲得厚度均勻的薄膜等。其工藝流程見圖1。



圖1 柔性導電膜生產(chǎn)工藝流程

從工藝生產(chǎn)流程可以看出，薄膜材料鍍膜是采用卷對卷的方式，生產(chǎn)時是連續(xù)生產(chǎn)完一卷后才會生產(chǎn)下一卷，每卷在中間生產(chǎn)出現(xiàn)問題時無法進行在線處理，這樣就造成了整卷的浪費，因此特別是很薄的薄膜生產(chǎn)時，中間產(chǎn)生褶皺時在收卷的時候由于張力的影響會對后面沒有產(chǎn)生褶皺的產(chǎn)品產(chǎn)生杠印，對生產(chǎn)品質和良率造成影響。因此需要進一步改進設計工藝。

卷繞鍍膜設備中薄膜平整度在線控制裝置包括平整度調節(jié)輥（以下簡稱“香蕉輥”，可以看成是香蕉那種形狀）及其控制系統(tǒng)。該裝置是裝在卷繞鍍膜設備工藝室鍍膜鼓前面。卷繞鍍膜設備主要由放卷室、工藝室、收卷室組成，放卷室包含放卷裝置、傳動輥；工藝室包含鍍膜鼓、磁控濺射陰極系統(tǒng)、傳動輥、平整度調節(jié)輥；收卷室包含收卷裝置、傳動輥。安裝位置示意圖如圖2所示。




圖2 卷繞鍍膜設備中的傳送輥安裝位置示意圖



圖3 展平輥工作示意圖

由上圖可以看出，原膜經(jīng)過平整度調節(jié)輥后再經(jīng)過鍍膜鼓和磁控濺射陰極系統(tǒng)，這樣就保證鍍膜時原膜是經(jīng)過平整度調節(jié)輥調整后再進行鍍膜的，因此保證了鍍膜時的良品率；原膜在離開鍍膜鼓時是經(jīng)過平整度調節(jié)輥后再到收卷裝置，這樣就保證了收卷整齊、平整。使用平整度在線控制裝置前后良率及其他數(shù)據(jù)對比見表1。

表1  使用平整度在線控制裝置前后良率及其他參數(shù)對比



柔性卷繞鍍膜采用平整度在線控制裝置可以直接在線實時對角度的控制，保證鍍膜時膜面平整、收卷整齊、平整；特別是針對PET基材厚度小于50 μm的薄膜進行使用時，能有效地降低產(chǎn)品褶皺的產(chǎn)生，提高產(chǎn)品的良品率，目前已經(jīng)在產(chǎn)線進行實際使用。
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